산업현장의 환경성

이물 제거 장비의 선도기업

PRODUCT

06

Photo mask 세정 검사기

OLED, LCD 제조공정중 노광 공정의 핵심 부품인
Photo mask의 상면(Quartz)의 미세이물을 비접촉으로 세정하고
세정상태를 Vision camera로 측정하여 판별해 주는 설비

06

Photo mask 세정 검사기

OLED, LCD 제조공정중 노광 공정의 핵심 부품인
Photo mask의 상면(Quartz)의 미세이물을 비접촉으로 세정하고
세정상태를 Vision camera로 측정하여 판별해 주는 설비

01 제품특징

적용 Panel size   850×1400(mm)-Max
적용 Panel    8.0mm 이상
Tact time   250sec / 1Mask
세정력   1.6㎛ 이상 실리카 파우더 99% 이상 제거
Nozzle 표준 Gap   1.5~2.0mm
Moving type   Head moving
전원   AC208V 3P 60Hz / 50Hz
Mask 공급   수동 대차 / AGVMask
이물 검사 능력   30um 이상
이물 검출 방식   Line scan camera

02 핵심기술  

노광기 Photo mask를 비접촉 건식으로 세정하는
초음파 건식 세정기

Photo mask의 손상방지

공정 중 Photo mask의 이물관리

불량 Photo mask로 인한 공정불량 감소

03 공정과정 

04 영상보기  

Photo mask 세정 검사기          >