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이물 제거 장비의 선도기업 

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> PRODUCT > Photo mask 세정 검사기

01 제품특징 

적용 Panel size | 850×1400(mm)-Max | |
적용 Panel | 8.0mm 이상 | |
Tact time | 250sec / 1Mask | |
세정력 | 1.6㎛ 이상 실리카 파우더 99% 이상 제거 | |
Nozzle 표준 Gap | 1.5~2.0mm | |
Moving type | Head moving | |
전원 | AC208V 3P 60Hz / 50Hz | |
Mask 공급 | 수동 대차 / AGVMask | |
이물 검사 능력 | 30um 이상 | |
이물 검출 방식 | Line scan camera |

02 핵심기술 


노광기 Photo mask를 비접촉 건식으로 세정하는
초음파 건식 세정기
초음파 건식 세정기
Photo mask의 손상방지
공정 중 Photo mask의 이물관리
불량 Photo mask로 인한 공정불량 감소
03 공정과정 







04 영상보기 

